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電子級大宗氣體及其應用

發布時間:2021-04-08 | 游覽:3711

內容摘要:電子級大宗氣體是指用于制造半導體生產的大宗氣體,包括氮氣、氫氣、氬氣、氦氣、氧氣和二氧化碳,那么它們在半導體制造中的主要應用都是什么呢?

電子級大宗氣體是指用于制造半導體生產的大宗氣體,包括氮氣、氫氣、氬氣、氦氣、氧氣和二氧化碳,那么它們在半導體制造中的主要應用都是什么呢?

氣體名稱
應用
氬氣
Ar用于等離子沉積和蝕刻工藝的工廠中,還可用于深UV光刻激光器中半導體芯片的最小特征的圖案上。液化氬氣的液滴還被越來越多的用于清洗最小,最脆弱的芯片結構中的碎屑。
二氧化碳

CO2 可用于支持先進的浸沒光刻,專用低溫清洗應用以及DI(去離子水)處理。

氦氣

He是第二輕的元素和最冷的液體,用于電子制造中的冷卻,等離子處理和泄漏檢驗。

氫氣

由于更大的工廠和更高的工藝強度需求,H?的使用量正在增加。它用于硅和硅鍺的外延沉積和表面處理。隨著EUV(極紫外線)的轉變,氫氣的需求量將繼續增長。

氧氣

O?用于在蝕刻中產生氧化物層。現場可提供雜質少于10ppb的超純液態氧(LOX)且無需外部凈化器。

氮氣

N?是目前半導體制造中使用最多的氣體。它用于吹掃真空泵,排放系統,還可以用來做為一種工藝氣體。在大型的,先進的工廠,氮氣的消耗量可達每小時5萬立方米,這使得工廠需要成本效益好,低能耗的現場氮氣發生器。

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