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六氟化硫是一種不燃燒的化學上很穩定的氣體，也是一種對生理呈惰性的氣體。但六氟化硫可引起窒息。當空氣中六氟化硫含量過高而使氧含量<19.5%時，會導致快速窒息。接觸器液體會造成凍傷。

未被NTP、OSHA及IARC列為致癌物及潛在致癌物。

六氟化硫危險性級別

六氟化硫在中國國家標準GB13690-62和《危險化學品名錄》(2002版)中定為第2.2類不燃燒氣體，危險特性5.20，危險貨物編號22021。

純品基本無毒，但產品中如混雜低氟化硫，氟化氫，特別是十氟化硫或一氧十氟化二硫時，則毒性增強。

六氟化硫危害表現

眼接觸：接觸其液體及冷的蒸氣會引起組織凍傷。

吸入：暴露在氧氣含量<19.5%的大氣會導致頭暈、昏迷、口水增多，反應遲鈍，反胃，嘔吐，失去意識和死亡，暴露在氧氣含量<12%的大氣會無任何先兆的失去知覺，并失去自我救護的能力。

皮膚接觸：接觸其液體及冷的蒸氣會引起凍瘡。

預防與急救：

為了防止吸入有害氣體，工作人員必須在通風良好的條件下進行操作。當發現由異味或刺激作用時，務必盡快離開現場，到空氣新鮮的地方去。若操作人員暫不能離開現場，則應立即佩戴防毒呼吸器。因S2F6的氣體密度約為空氣的9倍，通風必須非常好。在操作場所得某些設備上，須專門裝設有效的吸附器，以脫除排氣中的有毒氣體。更換處理吸附器時，應嚴格遵守安全規定。

當進入濃度超過暴露極限的泄漏區時需配備自給式呼吸器。一旦吸入，應迅速脫離現場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢。如呼吸困難，應給予輸氧，如呼吸停止，應立即進行人工呼吸。不論何種情況，在做完緊急處理后應立即到專業醫院就醫。

泄漏急救：迅速撤離泄漏污染區人員至風處，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給式正壓呼吸器，穿一般作業工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。如有可能，即時使用。漏氣容器要妥善處理，修復，檢驗后再使用。